中化新網(wǎng)訊 華東理工大學(xué)副教授莊黎偉、美國約翰霍普金斯大學(xué)教授邁克爾·薩帕希斯領(lǐng)銜的國際合作團隊,提出了一種間歇性旋涂化學(xué)液相沉積制備非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法,實現(xiàn)了薄膜沉積速率和厚度的可控,并進行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。相關(guān)研究近日發(fā)表于《自然-化學(xué)工程》。
據(jù)介紹,近年來,aZIF薄膜被用作先進光刻膠。實現(xiàn)aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備,對相關(guān)領(lǐng)域的先進光刻工藝具有重要意義。
在前期基于超稀釋前驅(qū)體溶液賦能化學(xué)液相沉積法制備aZIF薄膜策略的基礎(chǔ)上,研究團隊提出了制備aZIF薄膜的新方法。經(jīng)過系列實驗和仿真,研究團隊得到了薄膜沉積的本征速率,并揭示了薄膜沉積均勻性的關(guān)鍵影響因素。
研究團隊利用該化學(xué)液相沉積方法,制備了鋅/2-甲基咪唑,鋅/苯并咪唑、鋅/4,5-二氯咪唑和鈷/2-甲基咪唑等多種aZIF薄膜,并對aZIF薄膜作為正型光刻膠和負型光刻膠的圖案化性能進行了測試。他們還驗證了aZIF薄膜作為光刻膠在下一代光刻技術(shù)中應(yīng)用的可行性。
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