中化新網(wǎng)訊 為強(qiáng)化多晶硅安全風(fēng)險(xiǎn)管控,促進(jìn)多晶硅行業(yè)的整體安全水平提升,應(yīng)急管理部組織制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅安全生產(chǎn)規(guī)范(再次征求意見稿)》(以下簡稱《規(guī)范》),并于1月20日起向社會公開征求意見。
據(jù)了解,生產(chǎn)多晶硅過程中涉及氯硅烷、硅烷、氯化氫、氯氣、氫氣等多種性質(zhì)活潑的危險(xiǎn)化學(xué)品,具有易燃、易爆、有毒及腐蝕特性。此外,高純硅粉、回收硅粉不僅具有粉塵爆燃風(fēng)險(xiǎn),還會磨損設(shè)備管道,容易造成危險(xiǎn)物料泄漏。近幾年來,多晶硅企業(yè)在生產(chǎn)運(yùn)行環(huán)節(jié)和檢維修環(huán)節(jié)的事故多發(fā)頻發(fā)。
應(yīng)急管理部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)對于多晶硅企業(yè)工藝設(shè)計(jì)、安全設(shè)施設(shè)計(jì)要求內(nèi)容較少,尤其是多晶硅行業(yè)常見的防范氯硅烷、氯化氫、氯氣的腐蝕風(fēng)險(xiǎn);防范硅粉的磨損風(fēng)險(xiǎn);合成爐、反應(yīng)器等生產(chǎn)工藝、設(shè)備參數(shù)的安全監(jiān)控、異常情況下的緊急停車要求等。
上述負(fù)責(zé)人進(jìn)一步指出,《規(guī)范》針對當(dāng)前多晶硅生產(chǎn)采用的三氯氫硅還原法工藝和硅烷流化床法工藝,圍繞多晶硅行業(yè)安全風(fēng)險(xiǎn)隱患排查指南及專項(xiàng)檢查過程中暴露的問題,本著機(jī)械化換人、自動化減人、智能化無人的原則,注重從源頭提升本質(zhì)安全水平,努力降低工藝操作安全風(fēng)險(xiǎn)。
《規(guī)范》界定了采用三氯氫硅還原法和硅烷流化床法生產(chǎn)多晶硅的術(shù)語和定義,按照三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同工藝流程走向,從硅粉研磨、多晶硅生產(chǎn)、粗品后加工、儲存直到尾氣處理等逐個工序規(guī)定了企業(yè)從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)、儲存、應(yīng)急處置環(huán)節(jié)的安全風(fēng)險(xiǎn)管控要求,同時針對回收硅粉的風(fēng)險(xiǎn)特點(diǎn),增加了回收硅粉的管理要求。
《規(guī)范》強(qiáng)調(diào),企業(yè)應(yīng)建立防腐(磨)蝕、防泄漏管理制度,重點(diǎn)加強(qiáng)對氫氣、氯氣、硅粉、氯硅烷、硅烷的設(shè)備、儀表、管線的泄漏管理,確定檢測部位、檢測頻次和檢測方式。定期對涉及硅粉的管線、設(shè)備內(nèi)壁和承插管磨損情況進(jìn)行檢查,根據(jù)設(shè)備壁厚減薄情況評估防腐效果、核算設(shè)備剩余使用壽命。
根據(jù)三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同生產(chǎn)方式及涉及的關(guān)鍵裝置、重點(diǎn)部位特點(diǎn),《規(guī)范》明確了各工序生產(chǎn)需要監(jiān)控的工藝參數(shù)及報(bào)警系統(tǒng)設(shè)置,并對安全聯(lián)鎖系統(tǒng)的設(shè)置提出了詳細(xì)的要求;在應(yīng)急充氮保護(hù)方面,提出了三氯氫硅合成爐、還原爐等設(shè)備需要配備應(yīng)急充氮系統(tǒng),并能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操作的要求;在氯硅烷及硅烷尾氣回收和處理方面,提出了事故緊急排放氣應(yīng)設(shè)置應(yīng)急噴淋系統(tǒng),并與事故緊急排放氣管網(wǎng)壓力聯(lián)鎖的要求。
應(yīng)急管理部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,考慮到現(xiàn)行的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)未能充分反映出多晶硅企業(yè)的安全生產(chǎn)特性且頒布時間較久,不能滿足對多晶硅行業(yè)高危細(xì)分領(lǐng)域的安全管理新要求等因素,建議《規(guī)范》按照強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
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